Турбомолекулярный насос, FF-63/80HVE

Скорость откачки, л/с 62 (N2), 55 (Не), 34 (H2), 65 (Ar)

Коэффициент сжатия N2: 10E9, H2:10E4
Предельный вакуум, Па 3×10E-5 (ISO-K), 5×10E-6 (CF)
Выходное соединение: KF16
Входное соединение: ISO-K63/ CF63
Подшипники - Керамические шариковые, консистентная смазка
Скорость вращения, об/мин. 72000
Время запуска, мин. ≤2
Вибрация, мкм ≤0.1
Шум, дБ ≤55
Рекомендованная производительность форвакуумного насоса, л/с 0.8 - 2
Рекомендованное стартовое давление, Па <500
Монтажное положение - Любое
Температура отжига, °C ≤100 (ISO-K), ≤120 (CF)
Охлаждение - Воздушное 5-32°C, Водяное 5-40°C
Охлаждающая вода:
Температура: 10-25°C
Давление: 0.15МПа
Поток: > 1 л/мин
Патрубки подвода охлаждающей воды: Внутренний диаметр Ø10, прямоточные, обжимное быстроразъемное соединение
Вес, кг 2,6 (ISO-K), 3.5 (CF)

Комплект поставки:
- Насос;
- Контролер;
- Кабель питания - 2,5 м;
- Кабель насос-контроллер - 2,5 м;
- Струбцины (для фланца ISO-K) - 6 шт.;
- Центрирующее кольцо с сетчатым фильтром и уплотнением.