Установка плазменной обработки поверхности CUTE-1MPR

Размер образца Макс. 100 х 100 мм
Материал рабочей камеры Алюминий
Габаритные размеры камеры 140мм x 200мм x 110мм (ДхШхВ);
Генератор плазмы 0 -100 Вт, шаг регулировки 1 Вт
Диапазон частот генератора плазмы 20 –100 кГц, шаг регулировки 10 кГц
Управление Ручное или автоматическое
Вакуумный насос, скорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 5 х 10-3Торр
Датчик давления Пирани (LeyboldThermovac)
Диапазон измерений датчика давления Атм. –1х10-3Торр
Число газовых линий - стандартно 1 линия с цифровым РРГ, макс. до 3 линий
Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска в рабочую камеру, линия продувки рабочей камеры: Азот, воздух, CDA
Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Питание 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Габаритные размеры (ШхГхВ) 580 x 610 x 350 мм
Дополнительные опции:
- Генератор плазмы 200 Вт;
- Сухой вакуумный насос;
- Дополнительная газовая линия;
Комплект поставки включает:
- Вакуумный масляный насос с комплектом фитинга
- Полипропиленовая трубка для подвода газа
- Комплект ЗИП