Установка напыления DST3

DST3 – настольная установка магнетронного напыления с тремя магнетронами, диаметром 2" (50мм). Позволяет напылять металлы, диэлектрики, полупроводники на подложки диаметром до 200мм.

Доступны 2 конфигурации:

DST3 А – с 30˚ наклоном катодов
DST3 S – катоды выстроены с линию

Особенности:

Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов
Позволяет проводить процесс последовательно или одновременно с трех катодов.
Вакуумная камера диаметром 12" позволяет работать с образцами и п/п пластинами диаметром до 200мм
Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры
Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления
Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой точностью управлять процессом напыления
Автоматический контроль температуры катодов
Ручная и автоматическая обработка
Напыление по времени или по требуемой толщине
Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика
Защита от перегрева образца
Прецизионный регулятор потока (MFC) для подачи Ar в камеру
Перенос параметров процесса на USB носитель

DCR — это компактная система для нанесения покрытия из углеродного волокна, подходящая для подготовки образцов для использования в сканирующем электронном микроскопе (SEM), просвечивающем электронном микроскопе (TEM) и рентгеновском анализе (EDX).

Основные особенности:
Система мониторинга кварцевым кристаллом, используемая для измерения толщины пленке в режиме реального
времени (точность 1 нм)
Режимы импульсного или мгновенного нанесения покрытия из углеродного волокна
Интуитивно понятный сенсорный экран для управления и мониторинга процесса нанесения покрытия с
возможностью быстрого ввода данных
Удобное программное обеспечение, которое можно обновлять по сети
Возможность записи и построения графиков параметров покрытия
Двухлетняя гарантия
Соответствие CE