Установка напыления DSR1

DSR1 – настольная установка магнетронного напыления с одним магнетроном, диаметром 2". Позволяет напылять благородные металлы: золото (Au), серебро (Ag), палладий (Pa), платина (Pt) на непроводящие материалы. Идеально подходит для подготовки образцов к сканирующей (SEM) и просвечивающей (TEM) электронной микроскопии.
Вакуумная камера: диаметр 170 мм, высота 140 мм, толщина стенок 7 мм
Материал Pyrex
Диаметр магнетрона 2"
Расстояние между магнетроном и подложкой: регулируемое, 3-8 см
Источник питания магнетрона 0-100 мА
Рабочее давление 50-70 мТорр
Вакуумный насос: пластинчато-роторный, 4 м3/ч, с фильтром масляного тумана
Датчик давления Термопарный, 0.001-1 мбар
Газовая линия Ar, с прецизионным регулятором
Система управления: На основе PLC, русскоязычный интерфейс
Цветной, сенсорный экран 7"
Питание: 220 Вт, 50 Гц, 6 А
Вес (без насоса): 18 кг
Габаритные размеры основного блока (ШxГхВ): 50см х 37см х 45см