Установка плазменной обработки поверхности COGRADE-1MPR

Размер образца Макс. 225 х 275 мм
Материал рабочей камеры Алюминий
Габаритные размеры камеры 250мм x 300мм x 200мм (ДхШхВ)
Генератор плазмы 0-300 Вт, шаг регулировки 1 Вт
Диапазон частот генератора плазмы - от 20 до 100 кГц, шаг регулировки 10 кГц
Управление Ручное или автоматическое
Вакуумный насос, скорость откачки: 160 л/мин (9,6 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3Торр
Датчик давления Пирани (LeyboldThermovac)
Диапазон измерений датчика давления Атм. –1х10-3Торр
Число газовых линий - стандартно 1 линия с цифровым РРГ, макс. до 3 линий
Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска в рабочую камеру, линия продувки рабочей камеры Азот, воздух, CDA
Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Питание 110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Габаритные размеры (ШхГхВ) 700 x 680 x 550 мм
Дополнительные опции
- Генератор плазмы с частотой 13,56 МГц;
- Сухой вакуумный насос;
- Дополнительная газовая линия
Комплект поставки:
- Вакуумный масляный насос с комплектом фитинга
- Полипропиленовая трубка для подвода газа